电子工业洁净厂房设计规范
编号：GB50472-2008
颁布时间：2009/7/1
是否常用：是
是否有效：现行有效
分类：特殊场所建筑防火
5 工艺设计
5.1 一般规定5.2 工艺布局
5.3 人员净化
5.4 物料净化
5.5 设备及工器具